传感器与测试技术--微纳精密测量技术应用案例.pptVIP

尺寸从0.1微米到1厘米量级*MEMS中的精密测量技术MEMS的概念生活中的MEMSMEMS的特征摇摆质量微陀螺案例-研究背景陀螺仪是一种感测运动体旋转的重要惯性元件，在航天、航空、航海、兵器以及许多民用领域中有着广泛和重要的应用。微机械陀螺是中低精度陀螺仪的典型代表，具有成本低、体积小、可批量制造等特点，在部分军用领域和民用领域都有着广泛应用。随着武器装备信息化进程的不断深入，常规武器制导化成为各国武器装备发展的趋势。以精确打击为目的的制导武器已经成为军队武器装备的核心，如机载布撒武器、制导枪榴弹、制导炮弹、灵巧炸弹、近程火箭弹、稳瞄平台等。上述制导武器的任务时间不长，对陀螺仪的精度要求相对不高，但要求其成本低、体积重量小等。发展精确制导武器是我军武器装备信息化建设的重要任务，其中包括新型制导武器的研制和现有武器装备的制导化改造两方面，急需大量低成本、中低精度的陀螺仪。摇摆质量微陀螺案例-设计流程摇摆质量微陀螺案例-加工流程微陀螺的总体结构示意图摇摆质量微陀螺案例-加工流程中微纳测试方法1、利用表面轮廓仪测试微结构沟槽深度Veeco公司的Dektak6MPGI1240表面轮廓仪摇摆质量微陀螺案例-加工流程中微纳测试方法2、利用扫描电镜观测微结构刻蚀表面微观形貌钨灯丝扫描电子显微镜EVO18微结构刻蚀表面的SEM照