传感器与测试技术--电容式传感器（一）.pptVIP

*第二篇传感器原理及应用CHAPTER3阻抗式传感器ImpedanceSensors3.2电容式传感器3阻抗式传感器式中:ε——电容极板间介质的介电常数，ε=ε0εr。其中ε0为真空介电常数8.854×10-12F/m；εr极板间介质的相对介电常数；S——两平行板所覆盖的面积；d——两平行板之间的距离。dεS用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时，其电容C为3.2电容式传感器3.2.1电容式传感器的工作原理及结构形式+++变间隙型变面积型变介电常数型+++角位移型平面线位移型柱面线位移型3.2电容式传感器3.2.1电容式传感器的工作原理及结构形式1.变间隙的电容式传感器3.2.1电容式传感器的工作原理及结构形式1）空气介质的变间隙电容式传感器变间隙d定极板d0动极板?d1.变间隙的电容式传感器3.2.1电容式传感器的工作原理及结构形式设动极板未移动时极板间距为d0动极板上移所以变间隙型电容传感器在设计时要考虑满足?dd0的条件，且一般?d只能在极小的范围内变化。灵敏度1.变间隙的电容式传