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5nm工艺节点集成电路技术分析

目录

一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、5nm工艺节点概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.15nm工艺简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.2技术发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.3当前市场应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

三、5nm工艺节点集成电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

3.1设计流程优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

3.2电路架构创新．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.3物理设计挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

四、5nm工艺节点集成电路制造．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.1制造工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．