CN119414312A 一种pvd磁控管磁场自动扫描装置及方法 (浙江晟霖益嘉科技有限公司).docxVIP

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  • 2026-04-19 发布于山西
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CN119414312A 一种pvd磁控管磁场自动扫描装置及方法 (浙江晟霖益嘉科技有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119414312A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202510032934.1

(22)申请日2025.01.09

(71)申请人浙江晟霖益嘉科技有限公司

地址310022浙江省杭州市拱墅区刘文路

333号4幢601-1室

(72)发明人陈明贺忻王保王慧锋徐钧

(74)专利代理机构上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙)31290

专利代理师袁亚军

(51)Int.Cl.

G01R33/10(2006.01)

G01R33/00(2006.01

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