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CN119692588A 路径规划方法、系统及运输控制系统 （苏州新施诺半导体设备有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-04-20 发布于重庆
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CN119692588A 路径规划方法、系统及运输控制系统 （苏州新施诺半导体设备有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119692588A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202510196492.4H01L21/677(2006.01)

    G01C21/20(2006.01)

    (22)申请日2025.02.21

    (71)申请人苏州新施诺半导体设备有限公司

    地址215000江苏省苏州市高新区木桥街

    19号2幢E,F楼1,3层

    (72)发明人郭明吴斌周永富王宏玉

    吕杰

    (74)专利代理机构南京艾普利德知识产权代理

    事务所(特殊普通合伙)

    322

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