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真空技术真空泵性能测量标准方法第6部分：低温真空泵

1范围

本文件规定了低温真空泵的体积流率、最大流量、抽气容量、基础压力、降温时间和渡越容量的测

量方法。

本文件适用于能直接通过法兰安装到真空室的两级氦气闭循环制冷的低温真空泵。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T40344.1-2021真空技术真空泵性能测量标准方法第1部分：总体要求（ISO21360-1：

2020，IDT）

3术语和定义

GB/T40344.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

低温真空泵基础压力basepressurecryogenicvacuumpump

pb

低温真空泵完全冷却后24h内，测试罩中获得的压力。

注1：基础压力可能不是低温真空泵获得的最低压力。基础压力代表低温真空泵在合理调试后，不向测试罩引入任何

测试气体时能达到的最低压力（见5.5）。

注2：在一些应用中（如仅测试降温时间，见5.6），也能在低温真空泵泵口的盲板处测得基础压力。