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- 2026-04-20 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119688087A
(43)申请公布日2025.03.25
(21)申请号202510191915.3
(22)申请日2025.02.20
(71)申请人杭州微影软件有限公司
地址310051浙江省杭州市滨江区西兴街
道丹枫路399号2号楼B楼313室
(72)发明人吴辉阳陈松林
(74)专利代理机构北京博思佳知识产权代理有
限公司11415
专利代理师杨春香
(51)Int.Cl.
G01J5/80(2022.01)
G01J5/00(2022.01)
G01K11/00(2006.01)
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