CN120072705A 一种适用于半导体激光器芯片的解理镀膜设备及其控制方法 （中国电子科技集团公司第四十八研究所）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120072705A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510211716.4H01S5/028(2006.01)

(22)申请日2025.02.25

(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研

究所

地址410111湖南省长沙市天心区新开铺

路1025号

(72)发明人佘鹏程袁祖浩王建青于超文

(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通

合伙)43008

专利代理师覃族

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

C23C14/56(2006.01)