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扫描电镜（SEM）试题及详细答案

一、填空题（每空2分，共20分）

扫描电镜的核心成像原理是利用__________与样品表面原子相互作用产生的各种信号，其中__________是用于获取样品表面形貌的主要信号。

扫描电镜的电子光学系统主要由__________、__________、扫描线圈和样品室组成，其中前者的作用是产生高能量的电子束。

样品在放入扫描电镜前，导电性差的样品（如非金属、生物样品）需要进行__________处理，目的是防止样品表面__________，影响成像质量并损坏仪器。

扫描电镜的放大倍数计算公式为__________，其放大倍数可在一定范围内连续调节，通常从几十倍到几十万倍。

电子束与样品相互作用产生的信号中，__________可用于分析样品的元素组成，其能量与样品中原子的原子序数相关。

二、选择题（每题3分，共15分，单选）

下列哪种信号不属于电子束与样品相互作用产生的二次信号（）

A.二次电子B.背散射电子C.特征X射线D.入射电子

扫描电镜中，电子枪的作用是（）

A.聚焦电子束B.产生并发射电子束C.扫描电子束D.检测信号

关于二次电子成像，下列说法错误的是（）

A.二次电子主要来自样品表面1-10nm的区域