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集成电路制造中的多层级工艺协同机制

目录

一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

（一）背景介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

（二）研究意义与价值．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

二、集成电路制造工艺概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

（一）集成电路发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

（二）主要制造工艺流程．．．．．．．．．