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- 2026-04-23 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119427102A
(43)申请公布日2025.02.14
(21)申请号202310986881.8
(22)申请日2023.07.29
(71)申请人昆山中辰矽晶有限公司
地址215316江苏省昆山市玉山镇城北汉
浦路303号
(72)发明人邓武康李亚松蔡雪良李汉生王帅
(51)Int.Cl.
B24B7/22(2006.01)
B24B41/06(2012.01)
H01L21/02(2006.01)
权利要求书1页说明书2页附图1页
(54)发明名称
一种改
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