CN119427102A 一种改善磨平几何的方法 (昆山中辰矽晶有限公司).docxVIP

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  • 2026-04-23 发布于山西
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CN119427102A 一种改善磨平几何的方法 (昆山中辰矽晶有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119427102A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202310986881.8

(22)申请日2023.07.29

(71)申请人昆山中辰矽晶有限公司

地址215316江苏省昆山市玉山镇城北汉

浦路303号

(72)发明人邓武康李亚松蔡雪良李汉生王帅

(51)Int.Cl.

B24B7/22(2006.01)

B24B41/06(2012.01)

H01L21/02(2006.01)

权利要求书1页说明书2页附图1页

(54)发明名称

一种改

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