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CN119427168A 一种砷化镓晶片的划切方法 （沈阳和研科技股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-23 发布于山西
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CN119427168A 一种砷化镓晶片的划切方法 （沈阳和研科技股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119427168A

    (43)申请公布日2025.02.14

    (21)申请号202510045890.6

    (22)申请日2025.01.13

    (71)申请人沈阳和研科技股份有限公司

    地址110000辽宁省沈阳市皇姑区塔湾街

    11号（塔湾街11号）信悦汇A1座20层

    2005-2单元

    (72)发明人于冬梅余胡平李艳丽许航

    田秋实张洪盛李智博代成林

    (74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

    有限公司11463

    专利代理师姜旭峰

    (51)Int.Cl.

    B24B

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