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探寻FBAR无线传感器集成技术：原理、应用与突破路径

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的背景下，无线传感器技术作为物联网、智能设备等领域的关键支撑，正发挥着愈发重要的作用。其中，薄膜体声波谐振器（FilmBulkAcousticResonator，FBAR）无线传感器集成技术以其独特的优势，成为了研究的热点。FBAR是一种基于压电薄膜激发声波实现频率选择的器件，具有高精度、高信噪比、高稳定性、体积小、功耗低以及与半导体集成电路工艺兼容等诸多优良特性，能够有效满足现代电子设备对小型化、高性能的需求。

从无线通信领域来看，随着5G乃至未来6G通信技术的发展，对