CN120015697A 采用Cu-Cu键合制备氮化镓金刚石CMOS器件的方法及其应用 (深圳大学).pdfVIP

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  • 2026-04-23 发布于重庆
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CN120015697A 采用Cu-Cu键合制备氮化镓金刚石CMOS器件的方法及其应用 (深圳大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120015697A

(43)申请公布日2025.05.16

(21)申请号202510205543.5

(22)申请日2025.02.24

(71)申请人深圳大学

地址518000广东省深圳市南山区南海大

道3688号

(72)发明人刘新科陈春燕黎晓华张崇磊

刘海文刘河洲

(74)专利代理机构深圳尚业知识产权代理事务

所(普通合伙)44503

专利代理师郑姣

(51)Int.Cl.

H01L21/768(2006.01)

H10D84/85(2025.01)

H10D84/08(2025.01)

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