CN120231133A 扩散炉、扩散系统以及扩散方法 (青岛惠科微电子有限公司).pdfVIP

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  • 2026-04-24 发布于重庆
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CN120231133A 扩散炉、扩散系统以及扩散方法 (青岛惠科微电子有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120231133A

(43)申请公布日2025.07.01

(21)申请号202510229552.8

(22)申请日2025.02.27

(71)申请人青岛惠科微电子有限公司

地址266000山东省青岛市即墨区北安街

道办事处太吉路116号

申请人青岛惠芯微电子有限公司

北海惠科半导体科技有限公司

(72)发明人曲凯杨忠武鲁艳春梁洪春

(74)专利代理机构深圳市威世博知识产权代理

事务所(普通合伙)44280

专利代理师傅万霞

(51)Int.Cl.

C30B31/06(2006.01)

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