CN120221426A 一种加工检测方法、装置、设备及计算机存储介质 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120221426A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510217561.5

(22)申请日2025.02.26

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710065陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安欣芯材料科技有限公司

(72)发明人任可

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事

务所(普通合伙)61253

专利代理师沈寒酉李宁

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书12页附图6页