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- 2026-04-24 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120255431A
(43)申请公布日2025.07.04
(21)申请号202510226601.2
(22)申请日2025.02.27
(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研
究所
地址410111湖南省长沙市天心区新开铺
路1025号
(72)发明人曾参谢政廷易卓罗超
何永平
(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通
合伙)43008
专利代理师廖元宝
(51)Int.Cl.
G05B19/418(2006.01)
H01L21/67(2006.01)
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