CN120149242A 双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法及装置 （北京海炬科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120149242A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510225946.6G06T7/73(2017.01)

(22)申请日2025.02.27

(71)申请人北京海炬科技有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区经海五路88号三区5号楼一层

(72)发明人彭俊明陈境雄孙海威张财政

舒少坤

(74)专利代理机构北京领果世纪知识产权代理

有限公司16221

专利代理师王斌

(51)Int.Cl.

H01L21/68(2006.01)

H01L21/67(2006.