MEMS金属电介质光子晶体强透射性：机理、影响因素及应用探索.docx

MEMS金属电介质光子晶体强透射性：机理、影响因素及应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）技术在各个领域的应用日益广泛。MEMS技术是一种将微型机械元器件纳入微电子器件中的技术，具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高等优点，被广泛应用于制造微型机械、微传感器、微流控器件等。在光子学领域，MEMS技术的应用为光子晶体的制备和研究带来了新的机遇。

光子晶体是一种具有周期性介电常数变化的人工结构，能够对电磁波的传播和能带结构产生控制，其概念自提出以来，便在光电子学领域引起了广泛关注。光子晶体的独特性质在于其能够产生光子带隙，即某些频率范围的光不能在