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CN119433493A 适用于pecvd沉积隧穿多晶层工艺的石墨舟饱和方法及应用 （福建金石能源有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-24 发布于山西
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CN119433493A 适用于pecvd沉积隧穿多晶层工艺的石墨舟饱和方法及应用 （福建金石能源有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119433493A

    (43)申请公布日2025.02.14

    (21)申请号202510046310.5

    (22)申请日2025.01.13

    (71)申请人福建金石能源有限公司

    地址362200福建省泉州市晋江市经济开

    发区（五里园）泉源路17号

    (72)发明人林朝晖黄晓狄张超华林锦山杨清霖俞贵福陈有鹏

    (74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

    有限公司11463

    专利代理师赵亚楠

    (51)Int.Cl.

    C23C16/34(2006.01)

    C23C16/

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