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- 2026-04-25 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120109012A
(43)申请公布日2025.06.06
(21)申请号202510230289.4
(22)申请日2025.02.27
(71)申请人上海华力微电子有限公司
地址201314上海市浦东新区良腾路6号
(72)发明人周旭王子雨朱尧禹
(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限
公司31295
专利代理师张敏
(51)Int.Cl.
H01L21/306(2006.01)
H01L21/67(2006.01)
权利要求书1页说明书9页附图1页
(54)发明名称
磷酸刻蚀率控制方法、电子
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