《砷化镓单晶》标准立项修订与发展报告
EnglishTitle:DevelopmentReportonGalliumArsenideSingleCrystalStandardRevision
摘要
砷化镓(GaAs)单晶作为重要的化合物半导体材料,在微波器件、发光器件及集成电路等领域具有广泛应用,是仅次于硅的第二代半导体材料。随着技术水平的快速发展,砷化镓单晶的直径、重量不断增大,4英寸、6英寸单晶已实现批量生产,材料性能要求也显著提高。然而,现行标准GB/T20228-2006已不能满足市场需求,亟需修订以适应行业发展。本文系统分析了砷化镓单晶标准修订的目的意义、范围和
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