基于亚波长光栅结构的折射率传感研究进展.pptxVIP

content目录01研究背景与技术挑战02亚波长光栅的基本原理与光学特性03典型器件结构与传感机制创新04性能优化与理论建模进展05应用前景与未来发展方向

研究背景与技术挑战01

硅基集成光子学的快速发展为片上光学传感提供了坚实基础硅基优势硅基材料与CMOS工艺兼容，易于实现大规模集成和低成本制造。其高折射率特性支持紧凑型波导器件设计，适合片上系统发展需求。集成加速近年来硅光子技术快速发展，推动光通信、传感等领域的微型化与高性能化。集成光源、调制器与探测器逐步成熟，为片上传感奠定基础。传感兴起光学传感因非接触、高精度特点在生化检测中备受关注。硅基平台可实现微米尺度谐振腔，显著增强光与待测物的相互作用。微环普及微环谐振器因其结构紧凑、品质因子高，成为片上折射率传感的核心元件。广泛应用于环境监测、疾病诊断等前沿领域。挑战显现传统硅基微环光场局域性强，倏逝场弱导致外界交互不足。灵敏度受限，难以满足复杂环境中低浓度物质检测的需求。

传统微环谐振器受限于倏逝场弱耦合，导致传感灵敏度不足倏逝场局限传统微环谐振器中，光场主要局域于波导内部，倏逝场渗透深度有限。导致与外界待测物质相互作用弱，限制了传感灵敏度的提升。灵敏度瓶颈由于倏逝场能量占比低，折射率变化引起的谐振偏移小。传感器对环境变化响应不显著，难以实现高精度检测。结构依赖性条波导结构的几何参数固定，难以调控光场分布。优化空间受限，无法有效