CN119688105A 晶圆表面测温方法及装置 （上海集迦电子科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119688105A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510207036.5

(22)申请日2025.02.25

(71)申请人上海集迦电子科技有限公司

地址201206上海市浦东新区金桥出口加

工区金沪路278号T4-2幢2/3楼东侧

(72)发明人夏子奂张萍

(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事

务所(普通合伙)31286

专利代理师黄海霞

(51)Int.Cl.

G01K11/20(2006.01)

G01K11/32(2021.01)

H01L21/66(2006.01)