CN119689801A 一种微电子光刻掀离处理方法及微电子器件 （华通芯电(南昌)电子科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119689801A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510207126.4

(22)申请日2025.02.25

(71)申请人华通芯电（南昌）电子科技有限公司

地址330000江西省南昌市南昌县小蓝经

济技术开发区小蓝中大道389号尚荣

城产业园8栋6楼

(72)发明人刘坤明侯汉成宋嘉铭茆同海

(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事

务所(普通合伙)11201

专利代理师王波

(51)Int.Cl.

G03F7/30(2006.01)

G03F7/42(2006.01)

G03F7/40(2006.01)