CN119688427A 一种碳化硅晶片及高准确率的碳化硅晶片位错检测方法 （浙江晶越半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119688427A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510213068.6

(22)申请日2025.02.26

(71)申请人浙江晶越半导体有限公司

地址312400浙江省绍兴市嵊州市浦口街

道浦南大道368号9号厂房二楼202室

(72)发明人高冰丁幸

(74)专利代理机构浙江金杜智源知识产权代理

有限公司33511

专利代理师葛天祥

(51)Int.Cl.

G01N1/34(2006.01)

G01N1/32(2006.01)

C30B33/10(2006.01)

C30B29/36(2006.01)