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高分辨光学显微成像系统优化与校准技术研究

目录

一、高分辨光学显微成像系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、系统参数优化策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.1光学系统设计优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.2光学像差的精密控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.3分辨率极限提升途径探析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.4光学结构对成像质量的影响校正．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

三、校准技术与方法体系．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.1成像设备标准化校准规程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.2非接触式校准技术探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.3基于参照标准的系统标定方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

四、关键技术与实验验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

4.1高信噪比采集模式开发．．．．．．．．．．．．