CN119688537A 一种半导体零件的颗粒沉积测试方法及系统 （托伦斯精密制造(江苏)股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119688537A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510207464.8

(22)申请日2025.02.25

(71)申请人托伦斯精密制造（江苏）股份有限公

司

地址226000江苏省南通市启东市汇龙镇

新洪路1000号

(72)发明人於军陆圆圆莫任福

(74)专利代理机构南通鼎点知识产权代理事务

所(普通合伙)32442

专利代理师胡建锋

(51)Int.Cl.

G01N15/04(2006.01)

G01N15/0205(2024.01)

G01N15/075(2024.01)