基于CMOS工艺电容式相对湿度传感器设计与优化.pdfVIP

本科（设计）任务书

题目基于与CMOS工艺兼容的电容式相对湿度传感器设计

题目□科研项目□生产实践题目□理论研究□

√自选题目□其他类型√设计开发□其他

选湿度传感器广泛地应用于测量和控制领域,包括工艺控制、气象、农业和医疗设

题备。湿度传感器大致可以分为下列几种类型:电容式、电阻式、悬臂梁式、晶振式、

背以及热电偶式。新型的电容式的湿度传感器将与多晶硅加热结构集成在一起,它的响

景应时间非常迅速。设计优化对于湿度传感器一些特性参数,灵敏度、滞回特性、温度

及系数、可靠性、响应速度和一个特殊的参数。

目

的

内容：

1查阅资料，清楚研究的背景和意义以及国内外的研究现状，了解优化对于湿度传感

器一些特性参数,灵敏度、滞回特性、温度系数、可靠性、响应速度和一个特殊的参

数。

工