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2025年硅料腐蚀工协作考核试卷及答案

一、单项选择题（每题2分，共20分）

1.多晶硅腐蚀工序中，氢氟酸（HF）与硝酸（HNO?）混合液的主要作用是：

A.去除表面氧化层

B.增加硅料导电性

C.提高表面光泽度

D.抑制金属杂质扩散

答案：A

2.腐蚀槽温度控制范围需严格遵循工艺要求，某新型腐蚀设备的最佳工作温度为：

A.15-20℃

B.25-30℃

C.35-40℃

D.45-50℃

答案：B

3.硅料腐蚀后表面出现局部未腐蚀现象，最可能的原因是：

A.腐蚀液浓度过高

B.硅料预处理时表面油污未清除

C.腐蚀时间过长

D.槽体搅拌速度过快

答案：B

4.操作过程中若不慎将氢氟酸溅到皮肤，应立即采取的措施是：

A.用大量清水冲洗，再涂抹葡萄糖酸钙软膏

B.用酒精擦拭后就医

C.直接用弱碱溶液中和

D.用干布擦拭后涂抹凡士林

答案：A

5.腐蚀工序中，用于监测溶液浓度的仪器是：

A.红外测温仪

B.电导率仪

C.气相色谱仪

D.原子吸收光谱仪

答案：B

6.单晶硅片腐蚀时，各向异性腐蚀剂（如KOH溶液）的主要特点是：

A.对晶向腐蚀速率无差异

B.优先腐蚀（100）晶面

C.仅适用于多晶硅

D.