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超硬薄膜的纳米尺度力学行为研究

目录

一、文档概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.4论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

二、超硬薄膜材料的制备与表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1超硬薄膜的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.2超硬薄膜的结构与形貌表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.3超硬薄膜的力学性能表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

三、纳米尺度力学测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.1纳米压痕技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.2纳米划