CN119452462A 衬底转移设备及其操作方法 （株式会社尤金科技）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119452462A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202380048691.X

(22)申请日2023.05.19

(30)优先权数据

10-2022-00757912022.06.21KR

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.20

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/KR2023/0068402023.05.19

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2023/249260KO2023.12.28

(71)申请人株式会社尤金科技

地址韩国京畿道龙仁市处