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射线衍射仪结构分析的技术应用

目录

文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

射线衍射仪的基本构造及工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.1射线衍射系统的组成要素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.2衍射信号的产生机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.3数据到材料结构信息的转化流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

材料微观结构表征应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

3.1晶体结构解析与物相鉴定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

3.2晶粒尺寸与微观应力的定量分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

3.3微区成分与分布探测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

薄膜与沉积层结构研究技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

4.1薄膜厚度及多重反射校正．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

4.2沉积层晶体取向与织构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．