高性能氧化物陶瓷靶材的压力注浆成型工艺及应用_周贤界_惠浩.docx

研究报告

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高性能氧化物陶瓷靶材的压力注浆成型工艺及应用_周贤界_惠浩

一、高性能氧化物陶瓷靶材概述

1.高性能氧化物陶瓷靶材的种类

(1)高性能氧化物陶瓷靶材主要分为氧化物陶瓷和氮化物陶瓷两大类。氧化物陶瓷包括氧化铝、氧化锆、氧化钛等，它们具有优异的机械性能、热稳定性和化学稳定性，广泛应用于电子、能源、航空航天等领域。氮化物陶瓷如氮化硅、氮化硼等，以其高硬度、高耐磨性和良好的高温性能，在磨削、切削、高温结构部件等方面具有广泛的应用前景。

(2)在氧化物陶瓷靶材中，氧化铝靶材以其良好的耐高温性能和化学稳定性，被广泛应用于电子工业中的平板显示器、太阳能电池等