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多晶硅尾气过滤用多孔碳三维重构及模拟研究.pdf

多晶硅尾气过滤用多孔碳三维重构及模拟研究.pdf

    摘要

    多晶硅生产过程中会产生一定量细小的硅粉，若不对这些硅粉进行有效的过

    滤处理，可能会导致产品纯度降低、生产效率下降及环境污染等诸多问题。近年

    来多孔碳材料凭借其孔结构可调、比表面积大及物理化学性质稳定等优点，广泛

    应用于过滤分离领域，前景广阔。本文研究将多孔碳材料用于多晶硅尾气中细小

    硅粉过滤的可行性，通过三维重构技术构建接近于多孔碳真实孔隙结构的有限元

    模型，采用CFD-DEM耦合方法研究其过滤性能，探索影响过滤效果的因素和规

    律，以期为多孔碳应用于多晶硅尾气过滤提供参考。本文主要研究工

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