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IC工艺原理习题.pdfVIP

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  • 2026-04-28 发布于河北
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IC工艺原理习题.pdf

    第一章外延思考题

    1.外延是O

    2.名词解释：

    3.同质结外延，异质结外延正外延，反外延SOS,SOI结构软误差，

    4.埋层外延中的图形漂移与滑移原及解决办法。

    5.分析外延中的自掺杂效应，讨论解决办法。

    6.分析外延中的可能产生的几种缺陷，讨论解决办法。

    7.总

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