CN120060979A 一种单晶硅刻蚀装置及刻蚀方法 （江西钛创新能源科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120060979A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510231362.X

(22)申请日2025.02.28

(71)申请人江西钛创新能源科技有限公司

地址330000江西省南昌市南昌高新技术

产业开发区尤口路1018号3栋

(72)发明人王庆钱周炜华松雷杰

(74)专利代理机构绍兴普华联合专利代理事务

所(普通合伙)33274

专利代理师桑杨

(51)Int.Cl.

C30B33/10(2006.01)

C30B29/06(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图