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CN119465055A 一种微机电系统半导体氢气传感器及其制备方法 （中国矿业大学）.docxVIP

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  • 2026-04-29 发布于山西
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CN119465055A 一种微机电系统半导体氢气传感器及其制备方法 （中国矿业大学）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119465055A

    (43)申请公布日2025.02.18

    (21)申请号202411747680.3

    (22)申请日2024.12.02

    (71)申请人中国矿业大学

    地址221000江苏省徐州市大学路1号

    (72)发明人焦明之陈欣阳董豪杰安伟光吴楷

    (74)专利代理机构徐州苏越知识产权代理事务所(普通合伙)32543

    专利代理师刘振祥

    (51)Int.Cl.

    C23C14/35(2006.01)

    G01N27/12(2006.01)

    C23C14/08(2006.

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