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- 2026-04-29 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120109005A
(43)申请公布日2025.06.06
(21)申请号202510232105.8
(22)申请日2025.02.28
(71)申请人昕原半导体（上海）有限公司
地址201315上海市浦东新区中国(上海)
自由贸易试验区临港新片区鸿音路
1211号13幢304室
(72)发明人程子超陈亮杨芸
(74)专利代理机构北京景闻知识产权代理有限
公司11742
专利代理师卢春燕
(51)Int.Cl.
H01L21/02(2006.01)
权利要求书3页说明书10页附图8页
(54
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