纳米技术 碳纳米管原子力显微术 大深宽比微纳结构测量.pdfVIP

纳米技术碳纳米管原子力显微术大深宽比微纳结构测量

1范围

本文件描述了利用碳纳米管探针测量大深宽比微纳结构的方法，包括基本原理、测试条件和

所需设备等，规定了碳纳米管探针的参数范围和对样品的要求，确立了测量步骤。

本文件适用于深宽比为1-10，其中，最小水平线宽不小于200nm，最大垂直深度不超过2μm

的微纳结构的测量，其他微纳结构的测量参照使用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引

用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有修改单)

适用于本文件。

GB/T22461.2-2023表面化学分析词汇第2部分：扫描探针显微术术语

GB/T27760-2011利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的

方法

GB/T42659-2023表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系

统校准

3术语和定义、符号和缩略语

3.1术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1.1原子力显微术atomicforcemicroscopy

通过检测探针和样品表面的相互作用力（吸引力或排斥力）来控制探针和样品