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2026中国光刻胶产品梯队建设与晶圆厂验证进度.docx

2026中国光刻胶产品梯队建设与晶圆厂验证进度.docx

    2026中国光刻胶产品梯队建设与晶圆厂验证进度

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u摘要 3

    一、光刻胶行业宏观背景与2026年中国战略定位 5

    1.1全球半导体供应链重构下的光刻胶国产化紧迫性 5

    1.2“十四五”收官与“十五五”开局之年的政策窗口期 5

    1.328nm及以上成熟制程与特色工艺的产能扩张驱动 8

    1.42026年中国光刻胶市场规模预测及自给率目标 11

    二、光刻胶核心技术分类与2026年技术演进路线 12

    2.1G线/I线光刻胶：基础产能的优化与成本控制 12

    2.2KrF光刻胶：多层堆叠与高深宽比工艺的适配性

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