CN119465097A 基板保持机构、成膜装置及成膜方法 (东京毅力科创株式会社).docxVIP

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  • 2026-04-29 发布于山西
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CN119465097A 基板保持机构、成膜装置及成膜方法 (东京毅力科创株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119465097A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411490145.4

(22)申请日2019.11.26

(30)优先权数据

2018-2213112018.11.27JP(62)分案原申请数据

201911173253.82019.11.26

C23C16/455(2006.01)

C23C16/50(2006.01)

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人藤里敏章望月隆鸟屋大辅铃木公贵鲁和俊

(74)专利代理机构北

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