CN120157084A 一种基于硅柱tsv压阻式高温压力传感器的制备方法 （华东光电集成器件研究所）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120157084A

(43)申请公布日2025.06.17

(21)申请号202510239674.5

(22)申请日2025.03.03

(71)申请人华东光电集成器件研究所

地址233030安徽省蚌埠市龙子湖区汤和

路2016号

(72)发明人赵娟郭群英陈丙根王文婧

曹卫达宋有禹张宏昆

(74)专利代理机构安徽省蚌埠博源专利商标事

务所(普通合伙)34113

专利代理师杨晋弘

(51)Int.Cl.

B81C1/00(2006.01)

B81C3/00(2006.01)

G01L1/18(2006.01)

G01