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微《机电系统概论》课程教学大纲

课程编码：415313

课程名称：微机电系统概论

英文名称：IntrouctiontoMicroelectromechanicalSystems

开课学期：6

学时/学分：16/1

课程类型：专业拓展课

开课专业：机械科学与工程学院各专业

选用教材：《微机电系统》苑伟政、乔大勇编著西北工业大学出版社2011年版。

主要参考书：

1、MOHAMEDGAD-EL-HAK编著:微机电系统设计与加工机械工业出版社2010年1

月。

2、田文超著：微机电系统M（EMS）原理、设计和分析，西安电子科技大学出版社，

2009年。

3、梅涛、伍小平主编：微机电系统，化学工业出版社，2003年。

4、李德胜等主编：MEUS技术及其应用，哈尔滨工业大学出版社，2002年3月。

一、课程性质、目的与任务

微机械电子系统，是20世纪末、21世纪初兴起的工程科学前沿，是当前一个十分活跃

的研究领域。本课程的目的是将微