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- 2026-04-30 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119960268A
(43)申请公布日2025.05.09
(21)申请号202510244471.5
(22)申请日2025.03.03
(71)申请人清华大学
地址100084北京市海淀区清华园
申请人张江国家实验室
(72)发明人张鸣步扬王越博龚爽黄河
孙思凡刘相波万悦芯蔡森
邢硕郭继伟
(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限
公司11002
专利代理师李鑫
(51)Int.Cl.
G03F7/20(2006.01)
G03F9/00(2006.01)
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