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亚微米级器件互连材料的可靠性增强策略研究

目录

一、项目背景与研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、相关工作与文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

三、研究目标与核心思路．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

3.1项目追求指标体系明确．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

3.2多维增强技术路线图．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.3增强模式选型依据及考量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

四、增强策略设计方案与理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.1材料组构策略的构想．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.2表界面改性措施汇总．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.3工艺嵌入增强方案详述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

4.4潜在失效机制的预判与规避．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

五、实验材料制备与表征方法．．．．．．．．．．．．．．．．