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金属镓在半导体器件中的扩散机制研究

目录

一、内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

（一）研背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

（二）国内外研究现状概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

（三）本研究的核心问题界定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

二、基础理论与模型构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

（一）半导体材料中的扩散理论基础．．．．．．．．．