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立体电路系统的演进与实践探索

目录

内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究内容和目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

立体电路系统发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.1单片集成时代的起源．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2多层集成技术的兴起．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.3三维集成技术的出现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.4新兴集成技术的探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

立体电路系统关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

3.1布局设计技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

3.2制造工