DB13_T5631-2022_电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范_河北省.docxVIP

ICSCCS81.040.30L9013标河北省地方准DB13/T5631—2022电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范2022-12-

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DB13/T5631—2022

电子专用材料单晶硅生长用

石英坩埚生产技术规范

2022-12-27发布

2023-01-27实施

河北省市场监督管理局

发布

DB13/T5631—2022前言本文件按

DB13/T5631—2022

前

言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件由由廊坊市市场监督管理局提出。

本文件起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。

本文件主要起草人：贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东。

I

DB13/T5631—2022电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范1 范围本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版