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晶圆制程中镓元素耗散机理与闭环回收潜力

目录

文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.4技术路线与研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

晶圆制程中镓元素损耗机理分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1晶圆制程概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.2镓元素主要损耗环节．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.3镓元素损耗机理探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.4影响镓元素损耗的因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

镓元素闭环回收技术路径．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.1镓元素回收技